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典型案例
重大仪器专项--太赫兹电真空器件检测评估新方法


    在太赫兹重仪专项开展过程中,由于真空电子器件制造工艺复杂,其产品指标参数与通过理论模型计算获得的指标参数相去甚远,成为困扰研究人员的一大难题。
    中心针对用户单位这一需求,采用高精度工业CT成像技术对实际加工的高精度真空电子器件进行三维成像,对实际产品的微观结构进行三维测量,再将三维测量获得的真实尺寸用于理论计算修正。
    研究结果表明:修正后计算结果与实际结果得到较好的吻合,可以作为理论模型修正的依据。工业CT测量技术也成为电真空器件加工精度可靠的诊断工具

太赫兹电真空器件CT检测效果
 
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